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     CVD系統(tǒng)

    產(chǎn)品簡介
     常規(guī)CVD系統(tǒng)由管式爐、流量混合器、真空體統(tǒng)三部分組成。改系統(tǒng)可以滿足絕大部分氣氛或真空環(huán)境下的小樣品試驗。每個部分都可以單獨匹配成不同部件以滿足不同的實驗條件，如流量計可以選擇浮子流量計或質(zhì)量流量計，單通道或多通道，管式爐可以選擇1200℃/1500℃/1700℃單溫區(qū)或者多溫區(qū)爐子。
     
    主要參數(shù)
    型號
    QJ1200-CVD60
    QJ1700-CVD60
    工作溫度
    ≤1100℃
    ≤1600℃
    升溫速率
    10℃/min
    10℃/min
    氣體預(yù)熱區(qū)
    無
    200mm
    加熱區(qū)長度
    200/440mm
    200/300mm
    恒溫區(qū)長度
    100/220mm
    50/100mm
    管徑
    50/6/80/100mm
    50/60/80mm
    控溫方式
    30段PID程序控溫
    30段PID程序控溫
    真空泵
    機械泵/分子泵
    機械泵/分子泵
    真空度
    ≤10-3Pa
    ≤10-3Pa
    進氣種類
    1~4種
    1~4種



     
    
						

						

					 

			   

		  

		  

	 

	 

	 
	 


     

	      






	

	 

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