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    PECVD系統(tǒng)
     
    產(chǎn)品簡介
    為了降低化學沉積溫度，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，這種CVD系統(tǒng)稱之為等離子體增強型化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD），該設(shè)備可以根據(jù)氣體的種類數(shù)量、射頻功率大小、氣體是否需要預(yù)熱、沉積所需溫區(qū)隨意定制。
     
    主要參數(shù)
    型號
    QJ1200-PE60
    QJ1200-PE60Y
    工作溫度
    ≤1000℃
    ≤1000℃
    升溫速率
    10℃/min
    10℃/min
    氣體預(yù)熱區(qū)
    無
    200mm
    沉積區(qū)長度
    200mm
    440mm
    恒溫區(qū)長度
    100mm
    220mm
    石英管管徑
    50/60mm
    50/60/80/100mm
    控溫方式
    30段PID程序控溫
    30段PID程序控溫
    射頻功率
    100/300/500W自匹配
    100/300/500W自匹配
    射頻頻率
    13.56Mhz
    13.56Mhz
    真空泵抽速
    4L/s
    4L/s
    真空度
    ≤10Pa
    ≤10Pa
    進氣種類
    1~4種
    1~4種
    功率
    220V/4kw
    220V/7kw




     
    
						

						

					 

			   

		  

		  

	 

	 

	 
	 


     

	      






	

	 

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